氣動微小流量調節閥主要技術性能指標：
泄漏率：Ⅵ級，小于額定流量的10-4
回差：不帶定位器，小于全行程的3%；帶定位器，小于全行程的1%
基本誤差：不帶定位器，小于全行程的±5%；帶定位器，小于全行程的±1%
死區：不帶定位器，小于全行程的3%；帶定位器，小于全行程的1%注：測試使用填料為聚四氟乙烯填料。
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氣動微小流量調節閥主要零部件材料：
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閥體材質：1G1Cr18Ni9Ti、316、316L等
芯座材質：1Cr18Ni9Ti、316、316L等
填料材質：聚四氟乙烯、柔性石墨
膜片材質：丁腈橡膠夾尼龍布
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氣動微小流量調節閥允許壓差：
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執行機構
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ZHA(B)-11
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行程（mm）
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10
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有效面積(cm3)
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氣源接口尺寸
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M16×1.5
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公稱通徑（mm）
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G1/2"
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G3/4"
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閥座直徑（mm）
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1.5
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3
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4
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5
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6
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7
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8
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9
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允許壓差△P（MPa）
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6.4
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5.2
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4.6
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注：（1）ZHA：正作用執行機構；ZHB反作用執行機構。
（2）如果允許壓差不清楚或最大工作壓差超出列表范圍請我們聯系。
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氣動微小流量調節閥外形尺寸及重量：
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公通徑(mm)
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G1/2"
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G3/4"
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連接長度L(mm)
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92
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92
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高度H(mm)
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370
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370
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H1(mm)
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30
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30
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執行器寬D(mm)
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230
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230
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重量(KG)
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18
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18
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